EDI超纯水系统工艺流程
预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)
应用领域
电解电容器生产铝箔及工作件的清洗
电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液
显像管和阴极射线管生产、配料用纯水
黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水
液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液
晶体管生产中主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制
集成电路生产中高纯水清洗硅片
半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路
LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏
高品质显像管、萤光粉生产
半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗
超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料
实验室和中试车间
汽车、家电表面抛光处理
光电产品、其他高科技精微产品
预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)
应用领域
电解电容器生产铝箔及工作件的清洗
电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液
显像管和阴极射线管生产、配料用纯水
黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水
液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液
晶体管生产中主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制
集成电路生产中高纯水清洗硅片
半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路
LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏
高品质显像管、萤光粉生产
半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗
超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料
实验室和中试车间
汽车、家电表面抛光处理
光电产品、其他高科技精微产品
